機械化學拋光是利用固相反應拋光原理的加工方法之一。軟質磨粒與適當的拋光液一起，在工件與磨粒接觸點上，由于摩擦而產生高溫高壓，在極短的接觸時間里產生固相反應，并由摩擦力除去反應物，實現nm級微小單位的去除拋光。機械化學拋光的基本要素為使用能與工件進行固相反應的軟質微細磨粒。
氧化鋯陶瓷棒加工
氧化鋯陶瓷棒加工
1. 加工特性
用基于機械化學固相反應的各種粒子加工藍寶石時的結果表明，用軟質的SiO2、α-Fe3O4及TiO2粒子的加工速率比用α-Al2O3、FeAl2O4粒子及金剛石微粉的加工速率大。這表明，使用反應性大的粒子，其加工效率比純機械拋光要高，并且金剛石微粉拋光時易在工件表面上產生損傷。
如果加工以改善表面粗糙度，減少加工變質層為目標，就應該使用超細的微粉，并減小加工壓力。加工效率隨著拋光盤轉速的上升而提高，加工壓力在60～180kPa的范圍內不會對表面粗糙度產生不良影響。
工件材質確定后，把能和工件反應的物質從化學相圖中選出，根據其硬度及其他物理性質來確定粉末。不要選擇熔點太高的粉末。選擇拋光盤的材質時，應避免粉末與拋光盤表面產生復雜的反應，原則上希望拋光盤與粉末是同一種材質的，只要不破壞反應，加工氛圍干式或濕式均可。
2 . 加工面性質
在功能晶體材料機械化學拋光中，要重視在加工變質層中殘留的反應生成物。如果使用SiO2微粒(粒徑20nm)，月錫拋光盤進行藍寶石的濕式浮動拋光，能得到接近1nm表面粗糙度的加工面。根據電子衍射測量的加工面變質層圖像出現的菊池線，表明加工表面的結晶基本無畸變。
由表面的離子顯微檢偏振鏡(IMA)分析和俄歇（二次分光）電子分光分析的結果可知，在藍寶石表面上幾乎不殘留SiO2及其反應生成物。
對Mn-Zn鐵氧體電磁特性的影響：金剛石微粉拋光存在較深的加工變質層，因此初始磁導率很低。機械化學拋光可以得到與化學腐蝕相同程度的表面性質．由于幾乎沒有加工變質層，能得到高的電磁特性。
3 . 機械化學拋光應用
上面列舉的實例都是以藍寶石為對象的機械化學拋光。機械化學拋光也能加工其他晶體材料，例如水晶、硅單晶和Mn-Zn鐵氧體等材料的機械化學拋光。但是對使用的粉末有如下要求：粉末與工件相比必須是軟質的，必須能與工件產生固相反應。因此，對每種加工材料必須選擇適宜的粉末和適宜的加工條件。
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本文“先進陶瓷的機械化學拋光”由科眾陶瓷編輯整理，修訂時間：2017-03-15 14:59:22
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