氧化鋯陶瓷ELID磨削加工

　　氧化鋯陶瓷ELID磨削技術(shù)是一種磨削新工藝，其基本原理是利用在線的電解作用對(duì)金屬基砂輪進(jìn)行修整。即在磨削過(guò)程中在砂輪和工具電極之間澆注電解磨削液并加以直流脈沖電流，使作為陽(yáng)極的砂輪金屬結(jié)合劑產(chǎn)生陽(yáng)極溶解效應(yīng)而被逐漸去除，使不受電解影響的磨料顆粒凸出砂輪表面，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)砂輪的修整，并在加工過(guò)程中始終保持砂輪的鋒銳性。

　　氧化鋯陶瓷ELID磨削技術(shù)成功地解決了金屬基超硬磨料砂輪修整的難題，同時(shí)在線電解的微量修整作用使超細(xì)粒度砂輪在磨削過(guò)程中能保持鋒銳性，為實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的超精密磨削創(chuàng)造了有利條件。

　　氧化鋯陶瓷使用＃8000(最大磨粒直徑約為2µm)鑄鐵基金剛石砂輪對(duì)硅片進(jìn)行磨削，獲得了最大表面粗糙度值為0.1µm的高精表面。使用青銅基砂輪對(duì)陶瓷材料進(jìn)行精密磨削也達(dá)到了相同的加工效果。

　　采用ELID磨削技術(shù)對(duì)硬質(zhì)合金、陶瓷、光學(xué)玻璃氧化鋯陶瓷等脆性材料實(shí)現(xiàn)了鏡面磨削，磨削表面質(zhì)量與在相同機(jī)床條件下采用普通砂輪磨削相比大幅度提高，部分工件的表面粗糙度Ra值已達(dá)到納米級(jí)，其中硅微晶玻璃的磨削表面粗糙度可達(dá)Ra0.012µm。

　　這表明ELID磨削技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)氧化鋯陶瓷脆性材料表面的超精加工，但加工過(guò)程中仍存在砂輪表面氧化膜或砂輪表面層的未電解物質(zhì)被壓入工件表面而造成表面層釉化及電解磨削液配比改變等問(wèn)題，有待于進(jìn)一步研究解決。